高纯电子级氯气是28纳米以下先进制程芯片刻蚀与清洗的关键材料，其纯度直接决定芯片良率。然而，该产品长期依赖进口，纯度需达99.9999%以上，水分和金属杂质需控制在十亿分之一级别，是国产化难度最高的电子特气品类之一。近日，常州大学石油化工学院王俊副教授团队取得重大突破，成功获得6N级高纯电子级氯气，打通了从普通工业氯气到电子级高纯氯气的完整提纯路径。
氯气具有强腐蚀性和剧毒特性，纯化难度极大。团队创新融合了精密精馏与有机杂质定向吸附技术，量身设计了一套多级纯化系统，优化塔内件结构，精准筛选适配专用吸附剂组合，通过逐级深度脱除水分、有机杂质与金属杂质，实现了对氯气的“精细化净化”。相较于传统工艺，该技术路径不仅提升了纯度，还显著降低了能耗，已通过中试验证，具备产业化推广基础。
针对高纯氯气储存、输送环节的安全难题，团队同步构建了覆盖生产、纯化、输送全流程的安全控制模型。利用计算流体力学模拟氯气在设备和管道中的流动、汽化以及三氯化氮组分浓度累积的时空分布特征，开发出专属安全评估方法，形成电子特气生产工厂“数字孪生”方案，解决了“最后一公里”的安全难题，为技术规模化应用筑牢了安全防线。
该成果是服务国家科技自立自强战略的具体实践，对保障我国半导体产业链供应链安全、推动制造强国建设具有重要意义。
王俊在AIChE Journal等期刊发表学术论文20余篇，主持中央引导地方科技发展基金项目、国家自然科学基金青年基金项目、江苏省自然科学青年基金项目、江苏省先进催化与绿色制造协同创新中心项目等。（通讯员/陈科 审核/业绪华 编辑/庄媛）
王俊（右六）在专家考核现场
